您還在為半導(dǎo)體晶圓制造
良率瓶頸焦慮不已?
良率波動(dòng)不止?根源可能在“氣”!
昂貴工藝氣體泄漏難防?
腐蝕氣體濃度失控困擾?
微漏難尋,良率成本雙失?
海瑞思RGA密封檢測(cè)方案
直擊痛點(diǎn)——
? 實(shí)時(shí)捕捉波動(dòng),保障濃度穩(wěn)定
? 精準(zhǔn)快速響應(yīng),穩(wěn)定蝕刻工藝
? 變被動(dòng)為主動(dòng)預(yù)警,守護(hù)良率與成本
告別泄漏隱患,穩(wěn)控工藝命脈!
歡迎蒞臨SEMI-e深圳半導(dǎo)體展
14號(hào)館K11展位
解鎖您的專屬密封解決方案!
現(xiàn)場(chǎng)更有專業(yè)工程師為您答疑解惑,
期待與您相約!

以下是觀展攻略,請(qǐng)速速收藏!
01
觀展時(shí)間
參展人員 | 日期 | 時(shí)間 |
觀眾 | 9月10-11日 | 9:00-16:30 |
觀眾 | 9月12日 | 9:00-16:00 |
交通指引
02
地鐵:地鐵12號(hào)線、20號(hào)線直達(dá)國(guó)展北站(C1、C2出口到達(dá)北登錄大廳),可快速往返深圳市區(qū)及機(jī)場(chǎng)。
公交:深圳國(guó)際會(huì)展中心1站: 615路、B892路環(huán)線;深圳國(guó)際會(huì)展中心2站: M515路、B892路環(huán)線
自駕:A線路由國(guó)展立交-鳳塘大道-展城路-P1;B線路由國(guó)展立交-鳳塘大道-濱江大道-P5

03
展位路線圖

04展期天氣

溫馨提示:
1. 展會(huì)期間可能會(huì)有小雨,注意攜帶雨具。
2. 雨天濕度較大,注意保暖,避免受涼。
05
明星產(chǎn)品

HM-100 殘余氣體分析儀↑
高分辨率:<1amu
高靈敏度:最小可檢分壓3*10-14 Torr
寬質(zhì)量數(shù)范圍:1-100amu,可識(shí)別H2、He、H2O、N2、O2、CO2等關(guān)鍵氣體

HM-200在線質(zhì)譜分析儀↑
采用 RGA 技術(shù)直接檢測(cè)電解液泄漏,無需檢測(cè)氣體,靈敏度高,成本更低; 自帶觸摸顯示屏,操控精準(zhǔn)。

HM-400氦質(zhì)譜檢漏儀↑
最小可檢漏率 5*10-13Pa·m3/s; 正壓負(fù)壓皆可檢,全面覆蓋需求; 推車式結(jié)構(gòu)輕便高效,適用各類生產(chǎn)環(huán)境; 模塊化緊湊設(shè)計(jì),易于系統(tǒng)集成,適用于各種自動(dòng)化裝配線。

HV-100 VOCs檢測(cè)儀↑
檢測(cè)精度1ppb,秒級(jí)響應(yīng);支持多種測(cè)試氣體和應(yīng)用場(chǎng)景;小巧便捷,輕松操作;自動(dòng)儲(chǔ)存,支持?jǐn)?shù)據(jù)溯源。
您的困惑,我們都懂
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